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不带溢流阀罗茨泵在低真空阶段，必须用前级泵抽至一定真空度才能启动罗茨泵，通常还须配置前级管路和控制阀，这个阶段的抽速仅仅是前级泵的抽速。
带溢流阀罗茨泵在低真空阶段，在前级泵启动后就可以立即启动罗茨泵，但前级泵承受不了罗茨泵吸入的大量气体，多数气体从溢流阀返回至罗茨泵入口，随着压差的降低，返流量逐渐减少，直至溢流阀关闭。
在上述阶段由于罗茨泵入口是真空，而前级泵口开始的一段时间都处在接近大气状态下，随着压差的下降，压力才逐步下降，因此相比之下溢流通道的阻力小，多量气体从溢流阀返回至罗茨泵入口，而且它的返流量超过预期，这也就是为什么在这个阶段的抽速要小于液力传动型罗茨泵的原因。
液力传动型罗茨泵可以与前级泵同时启动，罗茨泵可以根据前级泵的承受力自动调节转速，因此罗茨泵与前级泵都处在非常协调的正常工作状态下，没有不正常的返流，它的抽气性能得到充分发挥，而处于状态。
液力传动型罗茨泵的抽气性能(曲线1)与带溢流阀(曲线2)、不带溢流阀直联型罗茨泵性能(曲线3)的比较，在低真空预抽阶段，液力传动型罗茨泵的抽速-入口压力曲线明显优于后面二种直联的罗茨泵；它的电机功率完全得到了充分的利用，又保证了电机不会超载。
